Communication Dans Un Congrès
Année : 2010
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https://hal.science/hal-02595157
Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:43:14
Dernière modification le : samedi 7 octobre 2023-21:36:23
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02595157 , version 1
Citer
Jean-Paul Booth, G. Curley, Pascal Chabert. Effect of low-frequency power on electron density and ion flux in dual-frequency capacitive radiofrequency discharges. PESM, Mar 2010, Grenoble, France. ⟨hal-02595157⟩
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