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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Tailored Voltage Waveform Capacitively-Coupled Plasmas

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Trevor Lafleur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pierre-Alexandre Delattre
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
E.V. Johnson
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02594732

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:13:36

Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:59

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02594732 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594732 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson. Tailored Voltage Waveform Capacitively-Coupled Plasmas. GEC, Oct 2012, Austin, Texas, United States. ⟨hal-02594732⟩

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