Ultra broad-band high sensitivity absorption spectroscopy of inductively-coupled plasmas in Cl<SUB>2</SUB>/O<SUB>2</SUB> mixtures - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Ultra broad-band high sensitivity absorption spectroscopy of inductively-coupled plasmas in Cl2/O2 mixtures

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

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Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:24

Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:59

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Dates et versions

hal-02593663 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593663 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert. Ultra broad-band high sensitivity absorption spectroscopy of inductively-coupled plasmas in Cl2/O2 mixtures. Frontiers in Low-temperature Plasma Diagnostics FLTPD, May 2015, Porquerolles, France. ⟨hal-02593663⟩

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