Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
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https://hal.science/hal-02593662
Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:23
Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:59
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02593662 , version 1
Citer
Daniil Marinov, Bastien Bruneau, Erik Johnson, Jean-Paul Booth. Cleaning and doping of CVD graphene using tailored voltage waveform capacitively coupled plasma. Plasma Etch and Strip in Microelectronics _PESM, Apr 2015, Louvain, Belgium. ⟨hal-02593662⟩
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