Inductively-coupled plasmas of Cl<SUB>2</SUB>, O<SUB>2</SUB> and mixtures : measurement of atoms, Cl<SUB>x</SUB>O<SUB>y</SUB> and electron densities - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities

Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Emile Carbone
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02593657

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:16

Dernière modification le : samedi 7 octobre 2023-21:36:23

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Dates et versions

hal-02593657 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593657 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Inductively-coupled plasmas of Cl2, O2 and mixtures : measurement of atoms, ClxOy and electron densities. PESM, May 2014, Grenoble, France. ⟨hal-02593657⟩

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