Dynamics of inductive plasmas in Cl<SUB>2</SUB>, O<SUB>2</SUB> and Cl<SUB>2</SUB>/O<SUB>2</SUB> mixtures: quantitative diagnostics and numerical modelling - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Dynamics of inductive plasmas in Cl2, O2 and Cl2/O2 mixtures: quantitative diagnostics and numerical modelling

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02573356

Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:09:29

Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:57

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Dates et versions

hal-02573356 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573356 , version 1

Citer

Daniil Marinov, Mickaël Foucher, Andrew Gibson, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth. Dynamics of inductive plasmas in Cl2, O2 and Cl2/O2 mixtures: quantitative diagnostics and numerical modelling. IVC (International Vacuum Conference), Aug 2016, Busan, Korea, Unknown Region. ⟨hal-02573356⟩

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