Communication Dans Un Congrès
Année : 1996
Louis Hennet : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02540731
Soumis le : samedi 11 avril 2020-18:48:33
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:15
Citer
Pierre Boher, Jean-Philippe Piel, Christophe Defranoux, Jean-Louis Stehle, Louis Hennet. Characterization of resists and antireflective coatings by spectroscopic ellipsometry in the UV and deep-UV range. SPIE's 1996 International Symposium on Microlithography, Mar 1996, Santa Clara, United States. pp.608-620, ⟨10.1117/12.240988⟩. ⟨hal-02540731⟩
Collections
5
Consultations
0
Téléchargements