Nanostructure Study of Ti/TiN Multilayers: Effect of the Deposition Temperature

S. Labdi; C. Sant; L. Hennet; Ph. Houdy

doi:10.1557/proc-441-711

Article Dans Une Revue MRS Online Proceedings Library Année : 1996

Nanostructure Study of Ti/TiN Multilayers: Effect of the Deposition Temperature

(1) , (1) , (2) , (1)

1
2

S. Labdi

Fonction : Auteur
PersonId : 176077
IdHAL : sid-labdi
ORCID : 0000-0003-4247-0206
IdRef : 070753431

Laboratoire d'étude des milieux nanométriques

CV

C. Sant

Fonction : Auteur

Laboratoire d'étude des milieux nanométriques

L. Hennet

Fonction : Auteur
PersonId : 183728
IdHAL : louis-hennet
ORCID : 0000-0002-2992-4800

Laboratoire de physique des matériaux

CV

Ph. Houdy

Fonction : Auteur

Laboratoire d'étude des milieux nanométriques

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Louis Hennet : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02540709

Soumis le : samedi 11 avril 2020-18:32:22

Dernière modification le : mardi 18 avril 2023-17:58:06

Dates et versions

hal-02540709 , version 1 (11-04-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02540709 , version 1
DOI : 10.1557/proc-441-711

Citer

S. Labdi, C. Sant, L. Hennet, Ph. Houdy. Nanostructure Study of Ti/TiN Multilayers: Effect of the Deposition Temperature. MRS Online Proceedings Library, 1996, 441, ⟨10.1557/proc-441-711⟩. ⟨hal-02540709⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-EVRY UNIV-LORRAINE IJL-UL

14 Consultations

0 Téléchargements

Nanostructure Study of Ti/TiN Multilayers: Effect of the Deposition Temperature

Domaines

Dates et versions

Identifiants

Citer

Exporter

Collections

Altmetric

Partager