Zero-Level Packaged RF-MEMS Switched Capacitors on Glass Substrates

Nesrine Belkadi; Kevin Nadaud; Clement Hallepee; Damien Passerieux; Pierre Blondy

doi:10.1109/JMEMS.2019.2949949

Article Dans Une Revue Journal of Microelectromechanical Systems Année : 2020

Zero-Level Packaged RF-MEMS Switched Capacitors on Glass Substrates

(1, 2) , (3) , (2) , (4, 2) , (5, 2)

1
2
3
4
5

Nesrine Belkadi

Fonction : Auteur

Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)

XLIM

Kevin Nadaud

Fonction : Auteur
PersonId : 2263
IdHAL : kevin-nadaud
ORCID : 0000-0002-2969-1453
IdRef : 198709145

GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)

CV

Clement Hallepee

Fonction : Auteur

XLIM

Damien Passerieux

Fonction : Auteur
PersonId : 6523
IdHAL : damien-passerieux
IdRef : 25313403X

MINACOM

XLIM

Pierre Blondy

Fonction : Auteur
PersonId : 915831

MINACOM

XLIM

Domaines

Electronique

Pierre Blondy : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02519280

Soumis le : mercredi 25 mars 2020-20:56:09

Dernière modification le : vendredi 8 mars 2024-10:16:48

Dates et versions

hal-02519280 , version 1 (25-03-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02519280 , version 1
DOI : 10.1109/JMEMS.2019.2949949

Citer

Nesrine Belkadi, Kevin Nadaud, Clement Hallepee, Damien Passerieux, Pierre Blondy. Zero-Level Packaged RF-MEMS Switched Capacitors on Glass Substrates. Journal of Microelectromechanical Systems, 2020, 29 (1), pp.109-116. ⟨10.1109/JMEMS.2019.2949949⟩. ⟨hal-02519280⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNILIM UNIV-TOURS CNRS UNIV-FCOMTE UNIV-BM FEMTO-ST XLIM UNIV-BM-THESE GREMAN INSA-GROUPE INSA-CVL

48 Consultations

0 Téléchargements

Zero-Level Packaged RF-MEMS Switched Capacitors on Glass Substrates

Domaines

Dates et versions

Identifiants

Citer

Exporter

Collections

Altmetric

Partager