Modelling of low-temperature/large-area distributed antenna array microwave-plasma reactor used for nanocrystalline diamond deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue European Physical Journal: Applied Physics Année : 2018

Modelling of low-temperature/large-area distributed antenna array microwave-plasma reactor used for nanocrystalline diamond deposition

Domaines

Matériaux Génie des procédés Sciences de l'ingénieur [physics]

Jocelyn ACHARD  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02492690

Soumis le : jeudi 27 février 2020-11:21:57

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hal-02492690 , version 1 (27-02-2020)

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Citer

Fabien Benedic, Benoit Baudrillart, Jocelyn Achard. Modelling of low-temperature/large-area distributed antenna array microwave-plasma reactor used for nanocrystalline diamond deposition. European Physical Journal: Applied Physics, 2018, 81 (1), pp.10804. ⟨10.1051/epjap/2017170238⟩. ⟨hal-02492690⟩

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