Prediction of the thermal conductivity anisotropy of Si nanofilms. Results of several numerical methods

Damian Terris (1) , Karl Joulain (1) , Denis Lemonnier (1) , David Lacroix (2) , Patrice Chantrenne (3)

1 LET - Laboratoire d'études thermiques
2 LEMTA - Laboratoire d'Energétique et Mécanique Théorique et Appliquée
3 CETHIL - Centre de Thermique de Lyon

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Thermique [physics.class-ph]

Damian Terris, Karl Joulain, Denis Lemonnier, David Lacroix, Patrice Chantrenne. Prediction of the thermal conductivity anisotropy of Si nanofilms. Results of several numerical methods. International Journal of Thermal Sciences, 2009, 48 (8), pp.1467-1476. ⟨10.1016/j.ijthermalsci.2009.01.005⟩. ⟨hal-02461578⟩