A Thorough Study of Ferroelectric Sputtered (Hf, Zr)O2 Solid Solutions - Archive ouverte HAL

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Poster De Conférence Année : 2019

A Thorough Study of Ferroelectric Sputtered (Hf, Zr)O2 Solid Solutions

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Jordan Bouaziz

Fonction : Auteur
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INL - Spectroscopies et Nanomatériaux

Pedro Rojo Romeo

Fonction : Auteur
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Laboratoire d'électronique, optoélectronique et microsystèmes

Nicolas Baboux

Fonction : Auteur
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IdHAL : nicolas-baboux
IdRef : 083282106

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Brice Gautier

Fonction : Auteur
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INL - Dispositifs Electroniques

Bertrand Vilquin

Fonction : Auteur
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INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures

Mots clés

HfZrO2 ferroelectrics

Domaines

Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Brice GAUTIER : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02461347

Soumis le : jeudi 30 janvier 2020-16:03:42

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:14

Dates et versions

hal-02461347 , version 1 (30-01-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02461347 , version 1

Citer

Jordan Bouaziz, Pedro Rojo Romeo, Nicolas Baboux, Brice Gautier, Bertrand Vilquin. A Thorough Study of Ferroelectric Sputtered (Hf, Zr)O2 Solid Solutions. International Symposium on the Application of Ferroelectrics, Jul 2019, Lausanne, Switzerland. . ⟨hal-02461347⟩

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