High fraction of substitutional phosphorus in a (100) diamond epilayer with low surface roughness

M.-A. Pinault-Thaury (1) , B. Berini (1) , I. Stenger (1) , E. Chikoidze (2) , A. Lusson (1) , F. Jomard (1) , Jacques Chevallier , J. Barjon (1)

1 GEMAC - Groupe d'Etude de la Matière Condensée
2 LPSC - Laboratoire de physique des solides et de cristallogénèse

Domaines: Physique [physics]; Matière Condensée [cond-mat]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

M.-A. Pinault-Thaury, B. Berini, I. Stenger, E. Chikoidze, A. Lusson, et al.. High fraction of substitutional phosphorus in a (100) diamond epilayer with low surface roughness. Applied Physics Letters, 2012, 100 (19), pp.192109. ⟨10.1063/1.4712617⟩. ⟨hal-02440864⟩