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Journal articles
Tilted beam scanning electron microscopy, 3-D metrology for microelectronics industry
Charles Valade
1, 2
Jérôme Hazart
3
Sébastien Bérard-Bergery
Elodie Sungauer
2
Maxime Besacier
1
Cécile Gourgon
1
Charles Valade 1, 2
Author
Jérôme Hazart 3
Author
Sébastien Bérard-Bergery
Author
Elodie Sungauer 2
Author
Maxime Besacier 1
Author
Cécile Gourgon 1
Author
1
LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 (France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
2
ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles] (850 rue Jean Monnet BP 16 38926 Crolles - France)
3
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02324657
Contributor : Marielle Clot <>
Submitted on : Tuesday, October 22, 2019 - 8:45:32 AM
Last modification on : Friday, November 6, 2020 - 4:30:39 AM
Contributor : Marielle Clot <>
Submitted on : Tuesday, October 22, 2019 - 8:45:32 AM
Last modification on : Friday, November 6, 2020 - 4:30:39 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-02324657, version 1
- DOI : 10.1117/1.JMM.18.3.034001
Citation
Charles Valade, Jérôme Hazart, Sébastien Bérard-Bergery, Elodie Sungauer, Maxime Besacier, et al.. Tilted beam scanning electron microscopy, 3-D metrology for microelectronics industry. Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, 2019, 18 (03), pp.1. ⟨10.1117/1.JMM.18.3.034001⟩. ⟨hal-02324657⟩
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