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Article Dans Une Revue Materials Science Forum Année : 1998

Post-Implantation Annealing of Aluminium in 6H-SiC

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Energie électrique
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Citer

Laurent Ottaviani, Dominique Planson, Marie-Laure Locatelli, Jean-Pierre Chante, B. Canut, et al.. Post-Implantation Annealing of Aluminium in 6H-SiC. Materials Science Forum, 1998, 264-268, pp.709-712. ⟨10.4028/www.scientific.net/MSF.264-268.709⟩. ⟨hal-02281029⟩

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