Micro-capteur pour la mesure en ligne et en continu de l’encrassement dans les procédés industriels et de traitement de l’eau : Réalisation et caractérisation du microsystème

Jonathan Crattelet (1, 2, 3) , Luc Fillaudeau (1) , Laurent Auret (2) , Ludovic Salvagnac (4) , Ali Boukabache (3) , Daniel Esteve (3)

1 LISBP - Laboratoire d'Ingénierie des Systèmes Biologiques et des Procédés
2 Neosens SA
3 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
4 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique

In process industries such as cooling systems, food and beverage and pulp and paper, fouling remains a complex and misunderstood phenomena. The detection of fouling is of unquestionable scientific and economic interest. In order to monitor fouling status of equipment, a thermal-based microsystem has been realised. In this paper, conception, realization and characterisation of the micro-sensor are reported. Performances, size, production costs are improved by MEMS technologies.

Dans les industries de procédés comme les systèmes de refroidissement, les industries agroalimentaires et du papier, les phénomènes d’encrassement sont encore mal connus. Leur détection présente donc des intérêts scientifiques et économiques indéniables. Dans le but de contrôler l’état d’encrassement des équipements, un microsystème reposant sur un principe thermique a été réalisé. Dans cet article, nous présentons la conception et la réalisation du micro-capteur ainsi que ses caractéristiques métrologiques. Les performances, la taille, les coûts sont améliorés grâce à l’utilisation des technologies microsystèmes.

Mots clés: capteur; MEMS; encrassement; contrôle; mesure thermique; sensor; fouling; monitoring; thermal measurement

Mots clés: industrie agro-alimentaire

Domaines: Sciences du Vivant [q-bio]

Jonathan Crattelet, Luc Fillaudeau, Laurent Auret, Ludovic Salvagnac, Ali Boukabache, et al.. Micro-capteur pour la mesure en ligne et en continu de l’encrassement dans les procédés industriels et de traitement de l’eau : Réalisation et caractérisation du microsystème. Instrumentation Mesure Métrologie, 2011, 11 (3-4), pp.107-130. ⟨hal-02263864⟩