Article Dans Une Revue
Silicon
Année : 2019
gabriel Ferro : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02174546
Soumis le : vendredi 5 juillet 2019-10:39:01
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Citer
Taguhi Yeghoyan, Kassem Alassaad, Véronique Soulière, Thierry Douillard, Davy Carole, et al.. Growth and Characterization of Undoped Polysilicon Thick Layers: Revisiting an Old System. Silicon, 2019, ⟨10.1007/s12633-019-00209-2⟩. ⟨hal-02174546⟩
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