Quantitative analysis of Si/SiGeC superlattices using atom probe tomography

Robert Estivill (1) , Adeline Grenier (2) , Sébastien Duguay (3) , François Vurpillot (3) , Tanguy Terlier (2) , Jean-Paul Barnes (2) , Jean-Michel Hartmann (2) , Didier Blavette (3)

1 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 GPM - Groupe de physique des matériaux

Domaines: Physique [physics]

Robert Estivill, Adeline Grenier, Sébastien Duguay, François Vurpillot, Tanguy Terlier, et al.. Quantitative analysis of Si/SiGeC superlattices using atom probe tomography. Ultramicroscopy, 2015, 159, pp.223-231. ⟨10.1016/j.ultramic.2015.03.014⟩. ⟨hal-02107589⟩