Mechanical and physicochemical properties of AlN thin films obtained by pulsed laser deposition

Florent Tetard (1) , C. Cibert (2) , F. Tétard , P. Djemia (1) , C. Champeaux (3) , A. Catherinot , D. Tetard (2)

1 LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
2 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
3 IBCP - Institut de biologie et chimie des protéines [Lyon]

Domaines: Matériaux

Florent Tetard, C. Cibert, F. Tétard, P. Djemia, C. Champeaux, et al.. Mechanical and physicochemical properties of AlN thin films obtained by pulsed laser deposition. Superlattices and Microstructures, 2004, 36 (4-6), pp.409-416. ⟨10.1016/j.spmi.2004.09.055⟩. ⟨hal-02095968⟩