Comparison of two conductive AFM probes for the local nano-oxidation of Ti thin films

Nicolas Guillaume (1) , Etienne Puyoo (1) , David Albertini , Nicolas Baboux (1) , Martine Le Berre (1) , Céline Chevalier (2) , Khalil El Hajjam (1) , Brice Gautier (1) , Calmon F. (1)

1 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
2 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Nicolas Guillaume, Etienne Puyoo, David Albertini, Nicolas Baboux, Martine Le Berre, et al.. Comparison of two conductive AFM probes for the local nano-oxidation of Ti thin films. Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micro-nanofabrication, May 2013, Evian, France. ⟨hal-02075206⟩