PEALD of Pt nanoparticles: towards the development of single electron transistors and flexible strain sensors
Etienne Puyoo
(1)
,
Daniel Thomas
(1)
,
Martine Le Berre
(1)
,
Liviu Militaru
(1)
,
Christophe Malhaire
(1)
,
Siddardha Koneti
(2)
,
Solène Brottet
(3, 4)
,
Rémi Rafael
(1)
,
Matthieu Bugnet
(2, 4)
,
Annie Malchere
(2, 4)
,
Thierry Epicier
(2, 4)
,
Lucian Roiban
(2, 4)
Etienne Puyoo
- Fonction : Auteur
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Martine Le Berre
- Fonction : Auteur
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Liviu Militaru
- Fonction : Auteur
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Christophe Malhaire
- Fonction : Auteur
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Rémi Rafael
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Matthieu Bugnet
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Annie Malchere
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Thierry Epicier
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Lucian Roiban
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