Fabrication of quartz microcylinders by laser interference lithography for angular optical tweezers

Zhanna Santybayeva (1) , Afaf Meghit (2, 3) , Rudy Desgarceaux (2, 3) , Roland Teissier (4, 2) , Frederic Pichot (2) , Charles de Marin (1) , Benoit Charlot (2, 3) , Francesco Pedaci (1)

1 CBS - Centre de Biochimie Structurale [Montpellier]
2 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
3 M2A - Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique
4 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Zhanna Santybayeva, Afaf Meghit, Rudy Desgarceaux, Roland Teissier, Frederic Pichot, et al.. Fabrication of quartz microcylinders by laser interference lithography for angular optical tweezers. Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2016, 15 (3), pp.034507. ⟨10.1117/1.JMM.15.3.034507⟩. ⟨hal-02067178⟩