A Si-H bistable microbeam for memory applications

Benoit Charlot (1, 2) , F. Pichot (1) , Alain Giani (3, 2) , P. Combette (3, 2) , H. Fujita (4) , H. Toshiyoshi (5)

1 INRIA-IES - Information et Édition Scientifiques
2 M2A - Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique
3 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
4 UTokyo - The University of Tokyo
5 IIS - Institute of Industrial Science

Domaines: Electronique

Benoit Charlot, F. Pichot, Alain Giani, P. Combette, H. Fujita, et al.. A Si-H bistable microbeam for memory applications. Micromechanics Europe Workshop, 2009, Toulouse, France. ⟨hal-02056467⟩