Article Dans Une Revue
SPIE Newsroom
Année : 2017
Isabelle Verrier : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02042652
Soumis le : mercredi 20 février 2019-15:03:55
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02042652 , version 1
Citer
Yves Jourlin, Loic Berthod. A new sol-gel process for fabricating TiO2 photoresists. SPIE Newsroom, 2017. ⟨hal-02042652⟩
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