Very short period grating printing combining UV interferential exposure and mechanical strain - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2017

Very short period grating printing combining UV interferential exposure and mechanical strain

Maxime Bichotte
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 990980
Laboratoire Hubert Curien
Cazier Anthony
  • Fonction : Auteur
Frederic Celle
  • Fonction : Auteur
Colette Veillas
  • Fonction : Auteur
Thomas Kampfe
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 958202
Yves Jourlin

Domaines

Optique [physics.optics] Sciences de l'ingénieur [physics] Optique / photonique

Isabelle Verrier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02042577

Soumis le : mercredi 20 février 2019-14:44:10

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:09

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02042577 , version 1 (20-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02042577 , version 1

Citer

Maxime Bichotte, Cazier Anthony, Frederic Celle, Colette Veillas, Thomas Kampfe, et al.. Very short period grating printing combining UV interferential exposure and mechanical strain. Microelectronic Engineering, 2017, Advances in Micro- and Nano-Patterning, 177, pp.66-69. ⟨hal-02042577⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNIV-ST-ETIENNE IOGS CNRS PARISTECH UDL
16 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More