Qualification Methodology for Sub-Micron ICs at the Low Noise Underground Laboratory of Rustrel

Austin Lesea , Karine Castellani-Coulie (1) , Georges Waysand (2) , Joel Le Mauff , Christophe Sudre (1)

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 LSBB - Laboratoire Souterrain à Bas Bruit

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Austin Lesea, Karine Castellani-Coulie, Georges Waysand, Joel Le Mauff, Christophe Sudre. Qualification Methodology for Sub-Micron ICs at the Low Noise Underground Laboratory of Rustrel. IEEE Transactions on Nuclear Science, 2008, 55 (4), pp.2148-2153. ⟨hal-02025239⟩