Design and fabrication of cooled silicon bolometers for mm wave detection

V. Goudon (1) , A. Aliane (1) , W. Rabaud (2) , C. Vialle , S. Pocas (2) , E. Baghe , L. Dussopt (2) , P. Agnese (1) , N. Lio Soon Shun , S. Becker , V. Reveret (3) , L. Sauvageot , L. Rodriguez , M. Solana (4) , L. Saminadayar (5)

1 UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019]
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 AIM (UMR7158 / UMR_E_9005 / UM_112) - Astrophysique Interprétation Modélisation
4 NEEL - QuantECA - Circuits électroniques quantiques Alpes
5 NEEL - TPS - Thermodynamique et biophysique des petits systèmes

Mots clés: Silicon; Ion implantation; Low temperature; SOI; Detector; Bolometer

Domaines: Physique [physics]

V. Goudon, A. Aliane, W. Rabaud, C. Vialle, S. Pocas, et al.. Design and fabrication of cooled silicon bolometers for mm wave detection. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 2018, 912, pp.78-81. ⟨10.1016/j.nima.2017.10.057⟩. ⟨hal-02022640⟩