Structural and optical properties of diamond like thin films deposited by asymmetric bipolar pulsed-DC reactive magnetron sputtering - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Surface and Coatings Technology Année : 2008

Structural and optical properties of diamond like thin films deposited by asymmetric bipolar pulsed-DC reactive magnetron sputtering

Miguel Rubio-Roy
FEMAN
CV
E. Pascual
  • Fonction : Auteur
FEMAN
M.C. Polo
  • Fonction : Auteur
FEMAN
J.L. Andújar
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FEMAN
E. Bertran
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FEMAN

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Mécanique des matériaux [physics.class-ph] Plasmas Sciences de l'ingénieur [physics] Physique [physics]

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Soumis le : mercredi 13 février 2019-11:35:12

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Dates et versions

hal-02017587 , version 1 (13-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02017587 , version 1

Citer

Miguel Rubio-Roy, E. Pascual, M.C. Polo, J.L. Andújar, E. Bertran. Structural and optical properties of diamond like thin films deposited by asymmetric bipolar pulsed-DC reactive magnetron sputtering. Surface and Coatings Technology, 2008, 202 (11), pp.2354-2357. ⟨hal-02017587⟩

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