Silicon nanonets: promising electrically active material with long-term performances

C. Ternon (1) , P. Serre (2) , J.-M. Lebrun , M. Legallais (1, 3) , S. David (2) , T. Luciani , C. Pascal (4) , T. Baron (2) , J.-M. Missiaen

1 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

Domaines: Matériaux

C. Ternon, P. Serre, J.-M. Lebrun, M. Legallais, S. David, et al.. Silicon nanonets: promising electrically active material with long-term performances. 2015 E-MRS Fall Meeting, Sep 2015, Varsovie, Poland. ⟨hal-02016966⟩