In situ X-ray studies during the early stage of ZnO Atomic Layer Deposition on InGaAs

E Skopin , L. Rapenne (1) , H. Roussel (1) , J.-L. Deschanvres (1) , A. Crisci (2) , E. Blanquet (2) , G. Ciatto (3) , D. Fong , M.-I. Richard (4) , Hubert Renevier (1)

1 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
3 SSOLEIL - Synchrotron SOLEIL
4 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

Domaines: Matériaux

E Skopin, L. Rapenne, H. Roussel, J.-L. Deschanvres, A. Crisci, et al.. In situ X-ray studies during the early stage of ZnO Atomic Layer Deposition on InGaAs. Rayons X & Matière, Nov 2017, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-02016916⟩