High density H 2 and He plasmas: Can they be used to treat graphene?

H.-A. Mehedi (1) , D. Ferrah (2) , J. Dubois , C. Petit-Etienne (1) , H. Okuno (3) , V. Bouchiat (4) , O. Renault (5) , G. Cunge (1)

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 UCL PCPM - Unité de Physico-Chimie et de Physique des Matériaux
4 NEEL - Quan2m - Interactions modulables dans des états quantiques 2D
5 BRGM - Bureau de Recherches Géologiques et Minières (BRGM)

Domaines: Physique [physics]

H.-A. Mehedi, D. Ferrah, J. Dubois, C. Petit-Etienne, H. Okuno, et al.. High density H 2 and He plasmas: Can they be used to treat graphene?. Journal of Applied Physics, 2018, 124 (12), pp.125304. ⟨10.1063/1.5043605⟩. ⟨hal-01971565⟩