The isotopic comparative method (ICM) for SIMS quantification of boron in silicon up to 40 at.%

Christiane Dubois (1) , Gilles Prudon (1) , Jean-Claude Dupuy , Brice Gautier (2) , Bruno Canut (3) , Yann Le Gall (4) , Thierry Kociniewski (5)

1 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
2 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
3 INL - S&N - INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
4 InESS - Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes
5 GEMAC - Groupe d'Etude de la Matière Condensée

Domaines: Matériaux

Christiane Dubois, Gilles Prudon, Jean-Claude Dupuy, Brice Gautier, Bruno Canut, et al.. The isotopic comparative method (ICM) for SIMS quantification of boron in silicon up to 40 at.%. Surface and Interface Analysis, 2011, 43 (1-2), pp.36-40. ⟨hal-01965028⟩