Iridium interdigital transducers for ultra-high-temperature SAW devices

Matière Condensée [cond-mat] Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Sciences de l'ingénieur [physics] Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-01948761

Soumis le : samedi 8 décembre 2018-13:05:44

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Dates et versions

hal-01948761 , version 1 (08-12-2018)

Identifiants

HAL Id : hal-01948761 , version 1

Citer

Thierry Aubert, Omar Elmazria, Jochen Bardong, Gudrun Bruckner. Iridium interdigital transducers for ultra-high-temperature SAW devices. IEEE International Ultrasonics Symposium, Oct 2011, Orlando, United States. ⟨hal-01948761⟩

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