Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Dauverchain Eric : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01922747
Soumis le : mercredi 14 novembre 2018-16:54:50
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:08
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01922747 , version 1
Citer
P. Falgayrettes, P. Gall-Borrut, A. Tsigara, B. Belier, F. Maillard. MOEMS for near field optical microscopy: from conception to fabrication process challenges. DTIP, Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, 2015, Montpellier, France. ⟨hal-01922747⟩
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