Prediction of porous dielectric line wiggling phenomenon with metallic hard mask: From simulation to experiment

J. Ducote (1, 2) , N. Posseme (2) , T. David (2) , Maxime Darnon (3) , T. Chevolleau (3) , M. Guillermet (2)

1 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

Mots clés: dielectric wiggling porous low-k

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

J. Ducote, N. Posseme, T. David, Maxime Darnon, T. Chevolleau, et al.. Prediction of porous dielectric line wiggling phenomenon with metallic hard mask: From simulation to experiment. Applied Physics Letters, 2014, 104 (23), ⟨10.1063/1.4882080⟩. ⟨hal-01916808⟩