pH driven addressing of silicon nanowires onto Si 3 N 4 /SiO 2 micro-patterned surfaces

Jean-Pierre Cloarec (1) , Céline Chevalier (2) , Jonathan Genest (3, 4) , Jacques Beauvais (4, 3, 4) , Hassan Chamas (5) , Yann Chevolot (1) , Thierry Baron (6) , Abdelkader Souifi (5)

1 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
2 UP2 - Université Panthéon-Assas
3 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes
4 3IT - Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke]
5 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
6 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Chimie

Jean-Pierre Cloarec, Céline Chevalier, Jonathan Genest, Jacques Beauvais, Hassan Chamas, et al.. pH driven addressing of silicon nanowires onto Si 3 N 4 /SiO 2 micro-patterned surfaces. Nanotechnology, 2016, 27 (29), ⟨10.1088/0957-4484/27/29/295602⟩. ⟨hal-01895315⟩