Article Dans Une Revue
IFAC-PapersOnLine
Année : 2017
Guillaume Graton : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01893101
Soumis le : jeudi 11 octobre 2018-10:01:53
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:07
Citer
M. Jebri, M. El Adel, G. Graton, M. Ouladsine, J. Pinaton. The Impact of the Virtual Metrology on a Run-to-Run control for a Chemical Mechanical Planarization process * *This work is part of the European projects "INTEGRATE" and "MAGE", and carried by STMicroelectronics Fab of Rousset. IFAC-PapersOnLine, 2017, 50 (1), pp.6154 - 6159. ⟨10.1016/j.ifacol.2017.08.980⟩. ⟨hal-01893101⟩
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