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Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Run To Run control based on categorical output in semiconductor manufacturing

M. Adel
  • Fonction : Auteur
M. Jebri
  • Fonction : Auteur
M. El Adel
  • Fonction : Auteur
Jacques Pinaton
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 914679
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01893096 , version 1 (11-10-2018)

Identifiants

Citer

M. Adel, M. Jebri, M. El Adel, El Mostafa El Adel, Guillaume Graton, et al.. Run To Run control based on categorical output in semiconductor manufacturing. 2016 5th International Conference on Systems and Control (ICSC), May 2016, Marrakesh, France. ⟨10.1109/ICoSC.2016.7507083⟩. ⟨hal-01893096⟩
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