Virtual metrology based on relevant feature extraction and just-in-time learning approach - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Virtual metrology based on relevant feature extraction and just-in-time learning approach

M. Jebri
  • Fonction : Auteur
G. Graton
  • Fonction : Auteur
M. Adel
  • Fonction : Auteur
J. Pinaton
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01893092 , version 1 (11-10-2018)

Identifiants

Citer

M. Jebri, G. Graton, M. Adel, M. Ouladsine, J. Pinaton. Virtual metrology based on relevant feature extraction and just-in-time learning approach. 2016 27th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), May 2016, Saratoga Springs, France. ⟨10.1109/ASMC.2016.7491086⟩. ⟨hal-01893092⟩
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