Self-aligned BCB planarization method for high-frequency signal injection in a VCSEL with an integrated modulator
Ludovic Marigo-Lombart
(1)
,
Jean-Baptiste Doucet
(2)
,
Aurélie Lecestre
(3, 2)
,
Benjamin Reig
(2)
,
Bernard Rousset
(2)
,
Hugo Thienpont
(4)
,
Krassimir Panajotov
(5)
,
Guilhem Almuneau
(1)
Jean-Baptiste Doucet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 754661
- IdHAL : jean-baptiste-doucet
- ORCID : 0000-0001-7063-9975
Aurélie Lecestre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 753470
- IdHAL : aurelie-lecestre
- ORCID : 0000-0003-2251-1226
Benjamin Reig
- Fonction : Auteur
- PersonId : 16642
- IdHAL : benjamin-reig
- IdRef : 161578349
Krassimir Panajotov
- Fonction : Auteur
- PersonId : 759258
- ORCID : 0000-0002-5215-1228
- IdRef : 150673388
Guilhem Almuneau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20881
- IdHAL : almuneau
- ORCID : 0000-0003-1340-3629
- IdRef : 118395947