Sub-µm air-gap resonant MEMS mass sensors fabrication and electrical characterization for the detection of airborne particles

Ugur Soysal (1) , Frédéric Marty (2) , Emmanuelle Algre (2) , Evelyne Gehin (1) , Charles Motzkus (3)

1 CERTES EA 3481 - Centre d'Etudes et Recherches en Thermique, Environnement et Systèmes [Créteil]
2 ESYCOM - Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
3 CSTB - Centre Scientifique et Technique du Bâtiment

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Ugur Soysal, Frédéric Marty, Emmanuelle Algre, Evelyne Gehin, Charles Motzkus. Sub-µm air-gap resonant MEMS mass sensors fabrication and electrical characterization for the detection of airborne particles. 2018 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), May 2018, ROMA, France. ⟨10.1109/DTIP.2018.8394231⟩. ⟨hal-01841627⟩