Combined angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy, density functional theory and kinetic study of nitridation of gallium arsenide - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 2018

Combined angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy, density functional theory and kinetic study of nitridation of gallium arsenide

Christine Robert-Goumet
Institut Pascal
H. Mehdi
Institut Pascal
G. Monier
Institut Pascal
P.E. Hoggan
  • Fonction : Auteur
L. Bideux
Laboratoire des sciences et matériaux pour l'électronique et d'automatique
V.G. Dubrovskii
  • Fonction : Auteur
ITMO University [Russia]

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-01827585

Soumis le : lundi 2 juillet 2018-15:01:27

Dernière modification le : mardi 23 janvier 2024-14:58:58

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Dates et versions

hal-01827585 , version 1 (02-07-2018)

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Citer

Christine Robert-Goumet, H. Mehdi, G. Monier, P.E. Hoggan, L. Bideux, et al.. Combined angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy, density functional theory and kinetic study of nitridation of gallium arsenide. Applied Surface Science, 2018, 427, pp.662 - 669. ⟨10.1016/j.apsusc.2017.08.002⟩. ⟨hal-01827585⟩

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