Tunneling atomic force microscopy for the nanoscale electrical and physical characterization of thin gate oxide films in different surrounding ambient
Wael Hourani
(1)
,
Brice Gautier
(2)
,
Liviu Militaru
(2)
,
David Albertini
(3)
,
Armel Descamps-Mandine
(4)
,
Antonin Grandfond
(2)
,
Richard Arinero
(5, 6)
1
FEMTO-ST -
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
3 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
4 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
5 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
6 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
2 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
3 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
4 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
5 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
6 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
Brice Gautier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 15263
- IdHAL : brice-gautier
- ORCID : 0000-0002-0705-9967
- IdRef : 098448617
Liviu Militaru
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173395
- IdHAL : liviu-militaru
- IdRef : 14496869X
David Albertini
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738192
- IdHAL : dalbertini
- IdRef : 25313577X
Richard Arinero
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19300
- IdHAL : richard-arinero
- ORCID : 0000-0002-2578-2606
- IdRef : 079363083