Article Dans Une Revue
Journal of Physics D: Applied Physics
Année : 2014
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01798618
Soumis le : mercredi 23 mai 2018-16:29:00
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:16
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01798618 , version 1
- DOI : 10.1088/0022-3727/47/45/455201
Citer
Emilie Despiau-Pujo, Melisa Brihoum, Paul Bodart, M Darnon, Gilles Cunge. Pulsed Cl2/Ar inductively coupled plasma processing: 0D model versus experiments. Journal of Physics D: Applied Physics, 2014, 47 (45), pp.16276 - 16282. ⟨10.1088/0022-3727/47/45/455201⟩. ⟨hal-01798618⟩
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