Microwave PACVD of low friction a-SiC coatings : from plasma characterization to material mechanical property - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Microwave PACVD of low friction a-SiC coatings : from plasma characterization to material mechanical property

Laurent Thomas
  • Fonction : Auteur
Francis Teyssandier
  • Fonction : Auteur
Michel Ducarroir
  • Fonction : Auteur
Christine Boher
Centre de Recherche Outillages, Matériaux et Procédés
CV
Laurent Autrique
  • Fonction : Auteur
Jean Marie Badie
  • Fonction : Auteur
René Berjoan
  • Fonction : Auteur

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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Soumis le : mercredi 9 mai 2018-09:45:13

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Dates et versions

hal-01788438 , version 1 (09-05-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01788438 , version 1

Citer

Laurent Thomas, Francis Teyssandier, Michel Ducarroir, Christine Boher, Laurent Autrique, et al.. Microwave PACVD of low friction a-SiC coatings : from plasma characterization to material mechanical property. Chemical Vapor Deposition XVI and EUROCVD 14, Apr 2003, Paris, France. p.359-364. ⟨hal-01788438⟩

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