Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2015
Christophe THIBAULT : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01784771
Soumis le : jeudi 3 mai 2018-17:15:48
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:07
Citer
Marie Capelle, Jérôme Billoue, Thomas Defforge, Patrick Poveda, Gael Gautier. Evaluation of Mesoporous Silicon Substrates Strain for the Integration of Radio Frequency Circuits. Thin Solid Films, 2015, 585, pp.66-71. ⟨10.1016/j.tsf.2015.04.022⟩. ⟨hal-01784771⟩
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