Growth and In-line Characterization of Silicon Nanodots Integrated in Discrete Charge Trapping Non-volatile Memories

J. Amouroux (1) , V. Della Marca (1) , E. Petit , D. Deleruyelle (1) , Magali Putero (1) , Christophe Muller , P. Boivin , E. Jalaguier (2) , P. Colonna , P. Maillot (3) , L. Fares

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 STMicroelectronics

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

J. Amouroux, V. Della Marca, E. Petit, D. Deleruyelle, Magali Putero, et al.. Growth and In-line Characterization of Silicon Nanodots Integrated in Discrete Charge Trapping Non-volatile Memories. MRS Proceedings, 2011, 1337, ⟨10.1557/opl.2011.975⟩. ⟨hal-01760606⟩