Hyper frequency modeling of resonated systems based on piezoelectric LiTaO3 thin layers

Jean Podlecki (1, 2) , S. Youssef (3, 4) , A. Foucaran (1, 5) , R. Al Asmar (1) , Y. Zaatar (6) , C. Eid (7)

1 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
2 M2A - Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique
3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
4 ESIB - Ecole supérieure d'ingénieurs de Beyrouth
5 M@CSEE - Micro électronique, Composants, Systèmes, Efficacité Energétique
6 USEK - Université Saint-Esprit de Kaslik
7 Lebanese Univ, Fac Sci 2, EC2M

Domaines: Electronique

Jean Podlecki, S. Youssef, A. Foucaran, R. Al Asmar, Y. Zaatar, et al.. Hyper frequency modeling of resonated systems based on piezoelectric LiTaO3 thin layers. Microelectronics Journal, 2009, 40 (3), pp.624 - 627. ⟨10.1016/j.mejo.2008.06.050⟩. ⟨hal-01737899⟩