Structural and optical characterization of oriented LiTaO 3 thin films deposited by sol-gel technique

J. Podlecki (1, 2) , S. Youssef (3) , R. Al Asmar (1) , B. Sorli (1, 2) , A. Foucaran (1, 4)

1 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
2 M2A - Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique
3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
4 M@CSEE - Micro électronique, Composants, Systèmes, Efficacité Energétique

Domaines: Electronique

J. Podlecki, S. Youssef, R. Al Asmar, B. Sorli, A. Foucaran. Structural and optical characterization of oriented LiTaO 3 thin films deposited by sol-gel technique. European Physical Journal: Applied Physics, 2008, 43 (1), pp.65 - 71. ⟨10.1051/epjap:2008122⟩. ⟨hal-01737897⟩