Integration of the RHK R9 to an Omicron VT-AFM

Intégration de la R9 RHK sur un VT-AFM Omicron

Laurent Nony (1) , Franck Para (1) , Franck Bocquet (1) , Christian Loppacher (1)

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence

Application Note: Integration of the RHK R9 to an Omicron VT-AFM With the purchase of our Omicron VT-AFM (model XA) in 2007 we decided that we will equip the microscope with the RHK SPM 100 control and the RHK PLLPro2 NC-AFM electronics. In 2015 we upgraded our RHK control system to the new, fully digital R9 due to the fact that in most of our research projects, we need the improved performance of the R9, especially the computer-controlled spectroscopy measurements and frequency modulation techniques. In the following we will first detail the modifications done to our VT-AFM, then we will describe how we integrated the system to the RHK R9 and finally we will present the performance of the final system by means of a thermal noise analysis and a demonstration of the obtained imaging quality.

Note d'application: Intégration du RHK R9 à un Omicron VT-AFM. Avec l'achat de notre Omicron VT-AFM (modèle XA) en 2007, nous avons décidé d'équiper le microscope avec le contrôle RHK SPM 100 et le RHK PLLPro2 NC-AFM électronique. En 2015, nous avons amélioré notre système de contrôle RHK avec la nouvelle version R9 entièrement numérique, car dans la plupart de nos projets de recherche, nous devions améliorer les performances de la R9, notamment les mesures de spectroscopie contrôlées par ordinateur et les techniques de modulation de fréquence. Dans le document, nous allons d'abord détailler les modifications apportées à notre VT-AFM, puis nous décrirons comment nous avons intégré le système à la RHK R9 et enfin nous présenterons la performance du système final au moyen d'une analyse de bruit thermique et une démonstration de la qualité d'image obtenue.

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Automatique / Robotique

Laurent Nony, Franck Para, Franck Bocquet, Christian Loppacher. Integration of the RHK R9 to an Omicron VT-AFM. Application Note, Aug 2015, Marseille, France. ⟨hal-01702368⟩